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    真空感應化學氣相沉積爐
    詳情介紹
    真空感應化學氣相沉積爐

    產品簡介:真空感應化學氣相沉積爐是在真空條件或保護氣氛下,利用中頻感應原理將置于感應線圈內的石墨坩堝加熱,石墨坩堝中放入被制備的碳---碳復合材料。在一定真空度下將坩堝加熱到規定溫度,并通入稀釋的碳氫氣體。該氣體中含碳活性基團分解后便沉積于材料表面。這樣制備的復合材料,其耐磨性將大大增加。本設備適用于化學氣相沉積法制備碳---碳復合材料,也可作為硬質合金制品的燒結以及高溫石墨化的設備。
        主要用途:應用于化學氣相沉積法制備碳—碳復合材料,也可做為硬質合金制品和高溫熱處理工藝的設備。
        主要特點:1.有上出料和下出料兩種方式。
        2.爐溫均勻性好。
        3.能配多種形式的過濾器,過濾效果好。
        4.可配多路質量流量計充氣系統。
        5.爐內氣氛壓力可自動控制。

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